基于飞秒激光的可运动微结构加工与旋转驱动

袁宏伟; 饶生龙; 吴东; 李家文; 胡衍雷

doi:doi:10.3788/ope.20202803.0584

光学精密工程, 2020, 28 (3): 584, 网络出版: 2020-05-12

基于飞秒激光的可运动微结构加工与旋转驱动

Fabrication and rotation driving of movable microstructures based on femtosecond laser

袁宏伟 ^*饶生龙吴东李家文胡衍雷

作者单位

中国科学技术大学精密机械与精密仪器系, 安徽合肥 230027

补充材料

袁宏伟, 饶生龙, 吴东, 李家文, 胡衍雷. 基于飞秒激光的可运动微结构加工与旋转驱动[J]. 光学精密工程, 2020, 28(3): 584. YUAN Hong-wei, RAO Sheng-long, WU Dong, LI Jia-wen, HU Yan-lei. Fabrication and rotation driving of movable microstructures based on femtosecond laser[J]. Optics and Precision Engineering, 2020, 28(3): 584.