光学学报, 2006, 26 (7): 1107, 网络出版: 2006-08-28   

膜厚监控误差及监控片不均匀对膜厚监控的影响

Effect of Thickness Monitoring Error and Inhomogeneity of Witness Glass on Film Thickness Monitoring
作者单位
1 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
2 中国科学院研究生院, 北京 100039
引用该论文

朱美萍, 易葵, 郭世海, 范正修, 邵建达. 膜厚监控误差及监控片不均匀对膜厚监控的影响[J]. 光学学报, 2006, 26(7): 1107.

朱美萍, 易葵, 郭世海, 范正修, 邵建达. Effect of Thickness Monitoring Error and Inhomogeneity of Witness Glass on Film Thickness Monitoring[J]. Acta Optica Sinica, 2006, 26(7): 1107.

参考文献

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