光学学报, 2006, 26 (7): 1107, 网络出版: 2006-08-28
膜厚监控误差及监控片不均匀对膜厚监控的影响
Effect of Thickness Monitoring Error and Inhomogeneity of Witness Glass on Film Thickness Monitoring
薄膜光学 膜厚监控 误差分析 不均匀性 规整膜系 非规整膜系 thin film optics film-thickness monitoring error analysis inhomogeneity quarter-wave coating non-quarter-wave coating
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