扩散掺杂的p型ZnO薄膜的光学性质研究 | 光谱学与光谱分析 -- 中国光学期刊网

光谱学与光谱分析, 2015, 35 (7): 1787, 网络出版: 2015-09-08

扩散掺杂的p型ZnO薄膜的光学性质研究

Optical Properties Investigation of p-Type ZnO Film Based on Doping by Diffusion

陈芳 ^1,*房丹 ¹王双鹏 ²方铉 ¹唐吉龙 ¹赵海峰 ²方芳 ^1,3楚学影 ¹李金华 ¹王菲 ¹王晓华 ¹刘国军 ¹马晓辉 ¹魏志鹏 ¹

作者单位

¹ 高功率半导体激光国家重点实验室,长春理工大学光电工程学院, 吉林长春 130022

² 发光学及应用国家重点实验室,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林长春 130033

³ 南昌大学, 江西南昌 330047

扩散掺杂 p型ZnO P掺杂原子层沉积光致发光 Diffuse doped p-type ZnO Phosphorus-doped Atomic layer deposition(ALD) Photoluminescence

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陈芳, 房丹, 王双鹏, 方铉, 唐吉龙, 赵海峰, 方芳, 楚学影, 李金华, 王菲, 王晓华, 刘国军, 马晓辉, 魏志鹏. 扩散掺杂的p型ZnO薄膜的光学性质研究[J]. 光谱学与光谱分析, 2015, 35(7): 1787. CHEN Fang, FANG Dan, WANG Shuang-peng, FANG Xuan, TANG Ji-long, ZHAO Hai-feng, FANG Fang, CHU Xue-ying, LI Jin-hua, WANG Fei, WANG Xiao-hua, LIU Guo-jun, MA Xiao-hui, WEI Zhi-peng. Optical Properties Investigation of p-Type ZnO Film Based on Doping by Diffusion[J]. Spectroscopy and Spectral Analysis, 2015, 35(7): 1787.

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