由于光存在衍射极限，因此传统方法不能实现亚波长尺度下的激光激射。为了打破这一衍射极限，本文设计了金属-介电层-半导体堆叠结构来实现深亚波长尺度下的激光激射，并讨论了相关结构对模式传播的影响。结构设计上，采用低介电常数金属银作为衬底、10 nm厚的LiF作为介电层、具有六边形截面的半导体纳米线ZnO作为高介电常数层，采用有限差分本征模和时域有限差分方法对所设计的结构进行光学仿真模拟。首先，通过改变ZnO纳米线的直径，使用有限本征模方法分析介电层中的光学模式，得到4种模式分布。然后，通过这4种光学模式在不同纳米线直径下的有效折射率和损耗计算了对应的波导传输距离以及激射阈值增益。最后，采用三维时域有限差分方法仿真分析纳米线稳态激光发射过程中各模式的电场分布。结果表明：在纳米线和金属衬底之间的介电层上存在混合等离子体模式和混合电模式，对于直径低于75 nm的ZnO纳米线，没有有效的物理光学模式，即混合等离子体模式和混合电模式都被切断，当ZnO纳米线的直径大于75 nm时，混合等离子体模式可以有效存在，而混合电模式在ZnO纳米线的直径达到120 nm之后才出现。虽然混合等离子体模式可以更好地限制在介电层中，但是它们的模式损耗太大，传播距离相对较小。此外，与混合等离子体模式相比，混合电模式的传播距离更长。在给定微米线的直径(D = 240 μm)下，混合电模式传播距离超过50 μm。综上可知，在深亚波长尺度下利用混合泄漏模式可以打破光学衍射极限并实现激光激射。