激光与光电子学进展, 2020, 57 (21): 211203, 网络出版: 2020-10-27
修正边界区域误差的共聚焦显微成像粗糙度测量 下载: 912次
Surface Roughness Measurement Using Laser Confocal Microscope with Boundary Area Correction
基本信息
DOI: | 10.3788/LOP57.211203 |
中图分类号: | TG84 |
栏目: | 仪器,测量与计量 |
项目基金: | 国家重点研发计划、山东省自然科学基金、济南市“高校20条”资助项目、 |
收稿日期: | 2020-01-09 |
修改稿日期: | 2020-03-09 |
网络出版日期: | 2020-10-27 |
通讯作者: | 张运海 (zhangyh@sibet.ac.cn) |
备注: | -- |
叶寒, 翁祖昕, 张运海, 缪佳, 肖昀. 修正边界区域误差的共聚焦显微成像粗糙度测量[J]. 激光与光电子学进展, 2020, 57(21): 211203. Ye Han, Weng Zuxin, Zhang Yunhai, Miu Jia, Xiao Yun. Surface Roughness Measurement Using Laser Confocal Microscope with Boundary Area Correction[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2020, 57(21): 211203.