半导体光电, 2014, 35 (6): 1022, 网络出版: 2014-12-26
干湿结合法在CdZnTe衬底上制备折射型红外微透镜的研究
Study on Infrared Refractive Micro-lens Prepared by Dry and Wet Etching on Cdznte Substrate
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TN215 |
栏目: | 材料、结构及工艺 |
项目基金: | 国家自然科学基金项目(61204134,11304335). |
收稿日期: | 2014-03-14 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2014-12-26 |
通讯作者: | 徐鹏霄 (xpxwi11@163.com) |
备注: | -- |
徐鹏霄, 乔辉, 王仍, 刘诗嘉, 曾巧玉, 张可锋, 李向阳. 干湿结合法在CdZnTe衬底上制备折射型红外微透镜的研究[J]. 半导体光电, 2014, 35(6): 1022. XU Pengxiao, QIAO Hui, WANG Ren, LIU Shijia, ZEN Qiaoyu, ZHYANG Kefeng, LI Xiangyang. Study on Infrared Refractive Micro-lens Prepared by Dry and Wet Etching on Cdznte Substrate[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2014, 35(6): 1022.