干湿结合法在CdZnTe衬底上制备折射型红外微透镜的研究

徐鹏霄; 乔辉; 王仍; 刘诗嘉; 曾巧玉; 张可锋; 李向阳

半导体光电, 2014, 35 (6): 1022, 网络出版: 2014-12-26

干湿结合法在CdZnTe衬底上制备折射型红外微透镜的研究

Study on Infrared Refractive Micro-lens Prepared by Dry and Wet Etching on Cdznte Substrate

徐鹏霄 ^1,2,*乔辉 ¹王仍 ¹刘诗嘉 ¹曾巧玉 ²张可锋 ¹李向阳 ¹

作者单位

¹ 中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室, 上海 200083

² 中国科学院大学, 北京 100039

图 & 表

徐鹏霄, 乔辉, 王仍, 刘诗嘉, 曾巧玉, 张可锋, 李向阳. 干湿结合法在CdZnTe衬底上制备折射型红外微透镜的研究[J]. 半导体光电, 2014, 35(6): 1022. XU Pengxiao, QIAO Hui, WANG Ren, LIU Shijia, ZEN Qiaoyu, ZHYANG Kefeng, LI Xiangyang. Study on Infrared Refractive Micro-lens Prepared by Dry and Wet Etching on Cdznte Substrate[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2014, 35(6): 1022.