干湿结合法在CdZnTe衬底上制备折射型红外微透镜的研究
[1] 邱传凯,杜春雷, 邓启凌, 等. 衍射微透镜在红外单元探测器中的应用[J]. 光电工程, 2000, 27(2):35-38.
[2] Grudzien M,Piotrowski J. Monolithic optically immersed HgCdTe IR detectors[J]. Infrared Phys., 1989, 29(2):251-253.
[3] 全知觉,叶振华, 胡伟达,等. 降低平面结型碲镉汞焦平面阵列光串音的结构优化研究[J]. 红外与毫米波学报, 2006, 25(5):329-337.
[4] 赖建军,柯才军, 陈四海,等. 微透镜阵列的制作及其与图像传感器的集成[J]. 半导体光电, 2004, 25(3):183-187.
[5] Jones C L,Matthews B E, Purdy D R, et al. Fabrication and assessment of optically immersed HgCdTe detector arrays[J]. Semicond. Sci. Technol., 1991,6:C110-C113.
[6] Michael G,Markus R, Jorn P, et al. Fabrication of continuous-relief micro-optical elements by direct laser writing in photoresist[J]. Opt. Eng., 1994, 33(11):3556-3566.
[7] Chen Bo,Guo Lurong, Tang Jiyue, et al. Novel method for making microoptics element with continuous relief[J]. Chinese J. Lasers, 1997, B6:57-63.
[8] 许乔, 叶钧, 周光亚,等. 折射型微透镜列阵的光刻热熔法研究[J]. 光学学报, 1996, 16(9):1326-1331.
[9] H.P. 赫尔齐克.微光学[M]. 北京:国防工业出版社, 2002:67-79.
[10] Huang Jian,Zhou Wenhong, Yin Wenting. Fabrication and evaluation of the CdZnTe microlens arrays[J]. Proc. SPIE, 2013,7658:G-1-G-5.
[11] 叶振华.集成HgCdTe双色探测芯片技术研究[D]. 上海: 中国科学院上海技术物理研究所, 2005.
徐鹏霄, 乔辉, 王仍, 刘诗嘉, 曾巧玉, 张可锋, 李向阳. 干湿结合法在CdZnTe衬底上制备折射型红外微透镜的研究[J]. 半导体光电, 2014, 35(6): 1022. XU Pengxiao, QIAO Hui, WANG Ren, LIU Shijia, ZEN Qiaoyu, ZHYANG Kefeng, LI Xiangyang. Study on Infrared Refractive Micro-lens Prepared by Dry and Wet Etching on Cdznte Substrate[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2014, 35(6): 1022.
PDF全文
