基于NOA73微球与SU-8微柱的微探针制作

王伟; 贾志浩; 段俊萍; 崔建利; 徐苏坪; 张斌珍

doi:doi:10.11884/hplpb201527.024103

强激光与粒子束, 2015, 27 (2): 024103, 网络出版: 2015-02-15

基于NOA73微球与SU-8微柱的微探针制作

Fabrication of microprobe based on NOA73 and SU-8

王伟 ^1,2,*贾志浩 ^1,2段俊萍 ^1,2崔建利 ^1,2徐苏坪 ^1,2张斌珍 ^1,2

作者单位

¹ 中北大学电子测试技术重点实验室, 太原 030051

² 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室, 太原 030051

补充材料

王伟, 贾志浩, 段俊萍, 崔建利, 徐苏坪, 张斌珍. 基于NOA73微球与SU-8微柱的微探针制作[J]. 强激光与粒子束, 2015, 27(2): 024103. Wang Wei, Jia Zhihao, Duan Junping, Cui Jianli, Xu Suping, Zhang Binzhen. Fabrication of microprobe based on NOA73 and SU-8[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2015, 27(2): 024103.