滤波器是信号传输系统中的重要组件.提出一种快速、高精度复制工艺方法, 用于设计和制备WR-10波段矩形波导滤波器.采用多层匀胶单次紫外曝光工艺(硅片上匀SU-8胶), 制备出的滤波器高度误差小于0.03%(3 μm), 陡直度误差小于1.1o.实验结果表明, 用该方法制备毫米波滤波器技术可行, 并取得了卓越的电磁性能(关于: 插入损耗, 回波损耗和带宽).最终测试结构可知, 通带内的插入损耗测得结果小于0.5 dB, 几乎可以忽略不计, 在整个通带内回拨损耗大于10 dB.结果表明, 这种快速制造技术是制备太赫兹射频器件的一种有效办法, 这种新技术将成为推动太赫兹射频器件未来发展的主要动力.

提出了一种基于MEMS开关的射频衰减器设计方案。首先对整体电路的基础结构进行了设计, 选择以CPW(共面波导)为传输线, 接触式MEMS开关作控制器件, 同时以开关中的电容作为断路时的平衡电容进行Q值匹配; 其次, 通过理论推导与计算得到了波导的截面尺寸; 然后按所需衰减量计算T型网络各个电阻的阻值大小。再按照计算值在CST微波工作室中建模仿真, 对比单级衰减和展频二级衰减的S参数, 可以发现, 在Q值匹配后的电路中, 射频信号可以在更宽的频段内保持稳定衰减。最后通过UV-LIGA技术结合氧化钽电阻工艺对衰减器进行了样片试制与结果测试。结果表明, 通过Q值匹配可以扩展衰减器的工作频段, 为高频信号的稳定衰减提出了一种可行性方案。

针对传统微透镜阵列制作工艺复杂、成本高、周期长等缺点，研究了一种低成本、高效率制作微透镜阵列的技术方法。以SU-8负性光刻胶为主模结构材料，采用2次紫外斜曝光工艺，加工出主光轴平行于硅基的微透镜阵列作为主模结构。依次采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)软光刻技术和NOA73紫外曝光技术对主模结构进行复制得到PDMS 和NOA73 2种材料的微透镜阵列，用共聚焦显微镜观察微透镜阵列的表面形貌并搭建光学检测平台，测试微透镜阵列的成像效果。结果显示，NOA73材料的微透镜阵列具有更好的光学性能。通过上述工艺加工的微透镜阵列具有较好的成像效果和表面形貌，重复性好且加工周期短，可集成在微流式细胞仪中用于样本流的荧光检测，提高了检测精度。

集成紫外固化胶NOA73微球与SU-8微柱制造的亚毫米探针, 可以作为关键部件应用于三坐标测量机。NOA73微球通过NOA73对其他溶液的界面张力形成, 柱子由深紫外光穿过微球曝光SU-8形成。这种新技术利用甘油补偿NOA73与空气折射率差, 使得紫外光透过NOA73微球后保持接近平行。最终得到高深宽比的探针结构, 高度超过1 200 μm, 微柱侧壁与基底呈89°。