北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心, 北京 100124
提出了一种基于双波长法补偿空气折射率的激光追踪测量系统的ZEMAX仿真分析方法。利用光学器件对偏振光的变换特性来建立系统的能量模型, 建立了基于ZEMAX软件的光学系统模型, 分析了光学系统中非理想的光学元件性能对干涉条纹对比度的影响。仿真分析结果表明, 当光学系统分光部分、追踪部分和接收部分的分光镜的分光比分别为2∶8、6∶4和5∶5时, 条纹对比度达到0.99, 光学系统的干涉效果最好。光学系统中的偏振分光镜在非理想条件下, 对干涉信号的条纹对比度的影响较小。
测量 空气折射率补偿 激光追踪仪 ZEMAX仿真 能量分析 高精度测量
1 中北大学 电子测试技术重点实验室, 太原 030051
2 中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室, 太原 030051
集成紫外固化胶NOA73微球与SU-8微柱制造的亚毫米探针, 可以作为关键部件应用于三坐标测量机。NOA73微球通过NOA73对其他溶液的界面张力形成, 柱子由深紫外光穿过微球曝光SU-8形成。这种新技术利用甘油补偿NOA73与空气折射率差, 使得紫外光透过NOA73微球后保持接近平行。最终得到高深宽比的探针结构, 高度超过1 200 μm, 微柱侧壁与基底呈89°。
探针 坐标测量机 折射率补偿 微机电系统 probe coordinate measuring machine refractive index compensation MEMS 强激光与粒子束
2015, 27(2): 024103
1 中国科学院光电研究院, 北京 100094
2 中国科学院大学, 北京 100049
在绝对距离测量中, 由于大气扰动造成的测量路径上折射率分布不均匀对干涉测量有很大的影响, 针对这一问题, 本文提出了一种补偿大气折射率的多波长干涉测量绝对距离的方法。该方法基于小数重合法的基本原理, 在测量过程中不需要对大气参数进行实时监测, 而是通过 A系数所给出的各波长折射率之间的关系解算距离。文中结合小数重合法的基本原理给出了理论推导与分析, 并采用 594.1 nm、611.9 nm、632.8 nm三种波长在计算机上进行了数值仿真实验, 得到了该算法的小数级次测量精度与非模糊距离 (UMR)的匹配关系。
多波长干涉测量 绝对距离测量 小数重合法 大气折射率补偿 multi-wavelength interferometry absolute distance measurement method of excess fractions compensation for the refractive index of air
1 上海第二医科大学物理教研室,上海,200025
2 上海真挚镀膜有限公司,上海,200127
3 海军医学研究所计算机室,上海,200433
探讨用折射率补偿即改变厚度的方法,并辅助于计算机修正来矫正真空镀膜法生产宽带增透膜时实验值与理论值存在的偏差,取得了良好效果,成功用于实际生产.
膜系结构 反射率 真空镀膜 增透膜 折射率补偿. film system structure reflectivity vacuum coating anti reflective coating compensation of refractiv
