激光与光电子学进展, 2015, 52 (10): 103003, 网络出版: 2015-10-08
热丝CVD沉积金刚石薄膜过程中的发射光谱研究
Analysis of Optical Emission Spectroscopy in Diamond of Hot Filament Chemical Vapor Deposition
薄膜 热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 丙酮/氢气/氩气等离子体 发射光谱 thin films hot filament chemical vapor deposition diamond thin film plasma of acetone/H2/Ar optical emission spectroscopy
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