光学学报, 2013, 33 (6): 0612009, 网络出版: 2013-05-14
提高S变换轮廓术测量精度的方法
Method for Improving the Accuracy of S-Transform Profilometry
引用该论文
谌秋菊, 陈文静, 钟敏, 苏显渝. 提高S变换轮廓术测量精度的方法[J]. 光学学报, 2013, 33(6): 0612009.
Shen Qiuju, Chen Wenjing, Zhong Min, Su Xianyu. Method for Improving the Accuracy of S-Transform Profilometry[J]. Acta Optica Sinica, 2013, 33(6): 0612009.
谌秋菊, 陈文静, 钟敏, 苏显渝. 提高S变换轮廓术测量精度的方法[J]. 光学学报, 2013, 33(6): 0612009. Shen Qiuju, Chen Wenjing, Zhong Min, Su Xianyu. Method for Improving the Accuracy of S-Transform Profilometry[J]. Acta Optica Sinica, 2013, 33(6): 0612009.