光学学报, 2013, 33 (6): 0612009, 网络出版: 2013-05-14
提高S变换轮廓术测量精度的方法
Method for Improving the Accuracy of S-Transform Profilometry
基本信息
| DOI: | 10.3788/aos201333.0612009 |
| 中图分类号: | O438 |
| 栏目: | 仪器，测量与计量 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金（61177010）和四川省学术和技术带头人培养资金（2012DTPY011）资助课题。 |
| 收稿日期: | 2013-02-01 |
| 修改稿日期: | 2013-03-05 |
| 网络出版日期: | 2013-05-14 |
| 通讯作者: | 谌秋菊 (419509383@qq.com) |
| 备注: | -- |
谌秋菊, 陈文静, 钟敏, 苏显渝. 提高S变换轮廓术测量精度的方法[J]. 光学学报, 2013, 33(6): 0612009. Shen Qiuju, Chen Wenjing, Zhong Min, Su Xianyu. Method for Improving the Accuracy of S-Transform Profilometry[J]. Acta Optica Sinica, 2013, 33(6): 0612009.
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