电极材料对IGZO薄膜晶体管性能的影响

刘冲; 韦敏; 杨帆; 贾卓; 邓宏

doi:doi:10.3788/fgxb20143511.1365

发光学报, 2014, 35 (11): 1365, 网络出版: 2014-12-08

电极材料对IGZO薄膜晶体管性能的影响

Effects of Electrode Materials on The Performances of IGZO-based Thin Film Transistor

刘冲 ^*韦敏杨帆贾卓邓宏

作者单位

电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室, 四川成都610054

图 & 表

刘冲, 韦敏, 杨帆, 贾卓, 邓宏. 电极材料对IGZO薄膜晶体管性能的影响[J]. 发光学报, 2014, 35(11): 1365. LIU Chong, WEI Min, YANG Fan, JIA Zhuo, DENG Hong. Effects of Electrode Materials on The Performances of IGZO-based Thin Film Transistor[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2014, 35(11): 1365.