光学学报, 2005, 25 (1): 126, 网络出版: 2006-05-22
沉积参量及时效时间对SiO2薄膜残余应力的影响
Influences of the Deposition Parameters and Aging Time on the Residual Stress of SiO2 Films
补充材料
邵淑英, 田光磊, 范正修, 邵建达. 沉积参量及时效时间对SiO2薄膜残余应力的影响[J]. 光学学报, 2005, 25(1): 126. 邵淑英, 田光磊, 范正修, 邵建达. Influences of the Deposition Parameters and Aging Time on the Residual Stress of SiO2 Films[J]. Acta Optica Sinica, 2005, 25(1): 126.