光学学报, 2005, 25 (1): 126, 网络出版: 2006-05-22
沉积参量及时效时间对SiO2薄膜残余应力的影响
Influences of the Deposition Parameters and Aging Time on the Residual Stress of SiO2 Films
薄膜光学 SiO2薄膜 残余应力 沉积温度 氧分压 时效 thin film optics SiO2 films residual stress deposition temperature oxygen partial pressure aging
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