半导体光电, 2020, 41 (1): 54, 网络出版: 2020-04-13
基于微多环谐振陀螺仪的馈通效应研究
Research on The Feed-through Effect of Micro Multi-ring Resonant Gyroscope
基本信息
DOI: | 10.16818/j.issn1001-5868.2020.01.011 |
中图分类号: | V241.554 |
栏目: | 光电器件 |
项目基金: | 国家自然科学基金项目(61574093)、 预研基金项目(614280504010317,6140863020202)、 上海专业技术服务平台项目(19DZ2291103)、 教育部新世纪优秀人才支撑计划项目(NCET-10-0583). |
收稿日期: | 2019-11-23 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2020-04-13 |
通讯作者: | 张卫平 (zwp37@163.com) |
备注: | -- |
田梦雅, 张卫平, 谷留涛, 刘朝阳, 薛冰. 基于微多环谐振陀螺仪的馈通效应研究[J]. 半导体光电, 2020, 41(1): 54. TIAN Mengya, ZHANG Weiping, GU Liutao, LIU Zhaoyang, XUE Bing. Research on The Feed-through Effect of Micro Multi-ring Resonant Gyroscope[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2020, 41(1): 54.