基于微多环谐振陀螺仪的馈通效应研究

田梦雅; 张卫平; 谷留涛; 刘朝阳; 薛冰

doi:doi:10.16818/j.issn1001-5868.2020.01.011

半导体光电, 2020, 41 (1): 54, 网络出版: 2020-04-13

基于微多环谐振陀螺仪的馈通效应研究

Research on The Feed-through Effect of Micro Multi-ring Resonant Gyroscope

田梦雅张卫平 ^*谷留涛刘朝阳薛冰

作者单位

上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系, 微米/纳米加工技术国家级重点实验室, 薄膜与微细技术教育部重点实验室, 上海 200240

补充材料

田梦雅, 张卫平, 谷留涛, 刘朝阳, 薛冰. 基于微多环谐振陀螺仪的馈通效应研究[J]. 半导体光电, 2020, 41(1): 54. TIAN Mengya, ZHANG Weiping, GU Liutao, LIU Zhaoyang, XUE Bing. Research on The Feed-through Effect of Micro Multi-ring Resonant Gyroscope[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2020, 41(1): 54.