中国激光, 2012, 39 (11): 1108002, 网络出版: 2012-09-20
测量薄膜厚度的数字叠栅技术
Digital Moiré Technique for Thin Film Thickness Measurement
基本信息
| DOI: | 10.3788/cjl201239.1108002 |
| 中图分类号: | O436 |
| 栏目: | 测量与计量 |
| 项目基金: | 科技部国际科技合作(2010DFR70530)资助课题。 |
| 收稿日期: | 2012-06-20 |
| 修改稿日期: | 2012-07-17 |
| 网络出版日期: | 2012-09-20 |
| 通讯作者: | 苏俊宏 (sujunhong@xatu.edu.cn) |
| 备注: | -- |
苏俊宏, 刘奕辰. 测量薄膜厚度的数字叠栅技术[J]. 中国激光, 2012, 39(11): 1108002. Su Junhong, Liu Yichen. Digital Moiré Technique for Thin Film Thickness Measurement[J]. Chinese Journal of Lasers, 2012, 39(11): 1108002.
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