中国激光, 2012, 39 (11): 1108002, 网络出版: 2012-09-20
测量薄膜厚度的数字叠栅技术
Digital Moiré Technique for Thin Film Thickness Measurement
薄膜 厚度 干涉图 移相干涉法 叠栅技术 thin films thickness interferogram phase shifting interferometry Moiré technology
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