中国激光, 2012, 39 (11): 1108002, 网络出版: 2012-09-20
测量薄膜厚度的数字叠栅技术
Digital Moiré Technique for Thin Film Thickness Measurement
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苏俊宏, 刘奕辰. 测量薄膜厚度的数字叠栅技术[J]. 中国激光, 2012, 39(11): 1108002. Su Junhong, Liu Yichen. Digital Moiré Technique for Thin Film Thickness Measurement[J]. Chinese Journal of Lasers, 2012, 39(11): 1108002.