中国激光, 2012, 39 (11): 1108002, 网络出版: 2012-09-20   

测量薄膜厚度的数字叠栅技术

Digital Moiré Technique for Thin Film Thickness Measurement
作者单位
西安工业大学光电工程学院, 陕西 西安 710032
引用该论文

苏俊宏, 刘奕辰. 测量薄膜厚度的数字叠栅技术[J]. 中国激光, 2012, 39(11): 1108002.

Su Junhong, Liu Yichen. Digital Moiré Technique for Thin Film Thickness Measurement[J]. Chinese Journal of Lasers, 2012, 39(11): 1108002.

参考文献

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苏俊宏, 刘奕辰. 测量薄膜厚度的数字叠栅技术[J]. 中国激光, 2012, 39(11): 1108002. Su Junhong, Liu Yichen. Digital Moiré Technique for Thin Film Thickness Measurement[J]. Chinese Journal of Lasers, 2012, 39(11): 1108002.

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