应用光学, 2013, 34 (3): 430, 网络出版: 2013-10-23
一种新型投影曝光调焦方法
A new zooming method for projection imaging lithography
基本信息
| DOI: | 10.5768/jao201334.0301009 |
| 中图分类号: | TN206;O439 |
| 栏目: | |
| 项目基金: | 国家自然科学基金（60977029）；国家自然科学基金青年基金（61107029）；广东工业大学重大项目培育专项（092010） |
| 收稿日期: | 2012-11-19 |
| 修改稿日期: | 2012-12-17 |
| 网络出版日期: | 2013-10-23 |
| 通讯作者: | 冉坐 (rz1986@126.com) |
| 备注: | -- |
冉坐, 周金运, 雷亮, 周亚梅, 邓亚飞. 一种新型投影曝光调焦方法[J]. 应用光学, 2013, 34(3): 430. RAN Zuo, ZHOU Jin-yun, LEI Liang, ZHOU Ya-mei, DENG Ya-fei. A new zooming method for projection imaging lithography[J]. Journal of Applied Optics, 2013, 34(3): 430.
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