一种新型投影曝光调焦方法

冉坐; 周金运; 雷亮; 周亚梅; 邓亚飞

doi:doi:10.5768/jao201334.0301009

应用光学, 2013, 34 (3): 430, 网络出版: 2013-10-23

一种新型投影曝光调焦方法

A new zooming method for projection imaging lithography

冉坐 ^*周金运雷亮周亚梅邓亚飞

作者单位

广东工业大学物理与光电工程学院，广东广州 510006

图 & 表

冉坐, 周金运, 雷亮, 周亚梅, 邓亚飞. 一种新型投影曝光调焦方法[J]. 应用光学, 2013, 34(3): 430. RAN Zuo, ZHOU Jin-yun, LEI Liang, ZHOU Ya-mei, DENG Ya-fei. A new zooming method for projection imaging lithography[J]. Journal of Applied Optics, 2013, 34(3): 430.