量子电子学报, 2012, 29 (6): 759, 网络出版: 2012-11-29
脉冲激光沉积法沉积类金刚石薄膜的实验研究
Experimental investigation of diamond-like carbon films deposited by pulsed laser deposition
基本信息
| DOI: | 10.3969/j.issn.1007-5461.2012.06.017 |
| 中图分类号: | TN249 |
| 栏目: | 激光应用 |
| 项目基金: | 中科院计划项目 |
| 收稿日期: | 2012-02-07 |
| 修改稿日期: | 2012-05-30 |
| 网络出版日期: | 2012-11-29 |
| 通讯作者: | 罗乐 (luolehfut@sohu.com) |
| 备注: | -- |
罗乐, 赵读亮, 储雅琼, 汪毅, 马跃, 陶汝华. 脉冲激光沉积法沉积类金刚石薄膜的实验研究[J]. 量子电子学报, 2012, 29(6): 759. LUO Le, ZHAO Du-liang, CHU Ya-qiong, WANG Yi, MA Yue, TAO Ru-hua. Experimental investigation of diamond-like carbon films deposited by pulsed laser deposition[J]. Chinese Journal of Quantum Electronics, 2012, 29(6): 759.
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