量子电子学报, 2012, 29 (6): 759, 网络出版: 2012-11-29   

脉冲激光沉积法沉积类金刚石薄膜的实验研究

Experimental investigation of diamond-like carbon films deposited by pulsed laser deposition
作者单位
1 合肥工业大学电子科学与应用物理学院,安徽 合肥 230009
2 中国科学院安徽光学精密机械研究所,安徽 合肥 230031
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罗乐, 赵读亮, 储雅琼, 汪毅, 马跃, 陶汝华. 脉冲激光沉积法沉积类金刚石薄膜的实验研究[J]. 量子电子学报, 2012, 29(6): 759. LUO Le, ZHAO Du-liang, CHU Ya-qiong, WANG Yi, MA Yue, TAO Ru-hua. Experimental investigation of diamond-like carbon films deposited by pulsed laser deposition[J]. Chinese Journal of Quantum Electronics, 2012, 29(6): 759.

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