激光与光电子学进展, 2020, 57 (11): 111406, 网络出版: 2020-06-02   

飞秒激光制备可控微纳米结构表面及应用研究 下载: 2535次特邀综述

Controllable Micro/Nano Structure Surface Fabricated by Femtosecond Laser and Its Applications
作者单位
1 中国科学技术大学微电子学院, 安徽 合肥 230026
2 中国科学技术大学微纳研究与制造中心, 安徽 合肥 230026
3 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系, 安徽 合肥 230026
4 南通职业大学机械工程学院, 江苏 南通 226007
5 合肥师范学院化学与化学工程学院, 安徽 合肥 230601
基本信息
DOI: 10.3788/LOP57.111406
中图分类号: TN249
栏目: 激光器与激光光学
项目基金: 国家自然科学基金、中央大学基础研究经费、国家重点研发项目、中国博士后科学基金、江苏省自然科学基金、安徽省高校优秀青年骨干人才国内外访学研修项目(gxgnfx2018024)
收稿日期: 2020-03-18
修改稿日期: 2022-06-20
网络出版日期: 2020-06-02
通讯作者: 边玉成 (bianyc@mail.ustc.edu.cn), 肖轶 (SY052@mail.ustc.edu.cn), 焦云龙 (jyljjw@ustc.edu.cn)
备注: --

边玉成, 王宇龙, 肖轶, 张迎辉, 焦云龙, 吴东, 周成刚, 姚成立. 飞秒激光制备可控微纳米结构表面及应用研究[J]. 激光与光电子学进展, 2020, 57(11): 111406. Yucheng Bian, Yulong Wang, Yi Xiao, Yinghui Zhang, Yunlong Jiao, Dong Wu, Chenggang Zhou, Chengli Yao. Controllable Micro/Nano Structure Surface Fabricated by Femtosecond Laser and Its Applications[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2020, 57(11): 111406.

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