1 中国科学技术大学微电子学院, 安徽 合肥 230026
2 中国科学技术大学微纳研究与制造中心, 安徽 合肥 230026
3 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系, 安徽 合肥 230026
4 南通职业大学机械工程学院, 江苏 南通 226007
5 合肥师范学院化学与化学工程学院, 安徽 合肥 230601
飞秒激光直写技术相比于传统加工方式以及其他先进的微纳米加工手段在可控微纳米结构加工方面具有一定的优势,如无需掩模、适合任意材料、热效应小等,因此被用来制备多样化的仿生微纳米结构表面,开发各种领域的应用,如自清洁、油水分离、水雾收集等。分析了利用飞秒激光在不同材料上制备多样微纳米结构的形成机理和设计思路,总结了国内外有关通过飞秒激光制备仿生微纳米表面的最新研究进展,并从表面润湿性的相关概念及理论模型、飞秒激光可控制备多样微纳米结构以及相关工业生活应用等方面进行了探索研究。最后分析了目前飞秒激光加工技术在微纳米制造领域存在的困难和挑战,并对未来其在相关领域的发展进行了展望。
激光光学 飞秒激光 微纳米加工 可控微纳米结构 特殊润湿性 仿生应用 激光与光电子学进展
2020, 57(11): 111406
上海科学院集成电路制造装备研究中心, 上海 201203
介绍了一种多光束无掩模光刻系统, 该系统利用空间光调制器数字微反射镜(DMD)对405nm的激光光束进行调制, 控制波带片阵列及纳米透镜阵列聚焦, 利用聚焦点阵配合纳米移动平台进行扫描光刻。介绍了该无掩模光刻实验系统结构及工作原理, 并给出了多光束光刻的实验结果。实验表明: 利用普通蓝紫光源和聚焦元件阵列可实现分辨率为400nm的多光束并行光刻。
无掩模光刻 多光束光刻 波带片阵列光刻 maskless lithography multi-beam lithography zone-plate-array lithography digital micro-mirror device DMD
中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230027
二维零位光栅可以给出标志二维坐标系下绝对零位的脉冲,但由于编码设计的计算量巨大,产生二维零位光栅的编码非常困难.本文结合全局优化的DIRECT算法和遗传算法等优化算法,提出一种首先采用优化算法设计较为易于得到的一维零位光栅编码,然后通过简单的矢量运算扩展为二维零位光栅的编码方法.通过验证,利用该方法所设计的二维零位光栅编码能在满足零位信号对比度与优化设计的一维零位光栅编码相同的前提下有效降低二维零位光栅编码设计的计算量.
二维零位光栅 精密计量 编码设计
