1 中国科学院上海技术物理研究所， 上海 200083
2 中国科学院红外探测与成像技术重点试验室， 上海 200083
风云二号卫星云图显示扫描辐射计存在红外杂散辐射，因此需要对光学 系统作进一步改进以减少杂散辐射。利用TracePro软件对该系统的红外杂散辐射的形成机理和入侵途径进行了仿 真和分析。基于分析结果对该光学系统的红外杂散辐射提出了几项有效抑制措施，并通过计算 系统的点源透过率(Point Source Transmittance, PST)函数对这些改进措施进行了评价。
红外杂散光 杂散光抑制 点源透过率 仿真分析 stray infrared light stray light suppressing PST simulation and analysis
上海科学院集成电路制造装备研究中心, 上海 201203
介绍了一种多光束无掩模光刻系统, 该系统利用空间光调制器数字微反射镜(DMD)对405nm的激光光束进行调制, 控制波带片阵列及纳米透镜阵列聚焦, 利用聚焦点阵配合纳米移动平台进行扫描光刻。介绍了该无掩模光刻实验系统结构及工作原理, 并给出了多光束光刻的实验结果。实验表明: 利用普通蓝紫光源和聚焦元件阵列可实现分辨率为400nm的多光束并行光刻。
无掩模光刻 多光束光刻 波带片阵列光刻 maskless lithography multi-beam lithography zone-plate-array lithography digital micro-mirror device DMD
