飞秒激光制备可控微纳米结构表面及应用研究下载： 2535次特邀综述 | 激光与光电子学进展 -- 中国光学期刊网

激光与光电子学进展, 2020, 57 (11): 111406, 网络出版: 2020-06-02

飞秒激光制备可控微纳米结构表面及应用研究下载： 2535次特邀综述

Controllable Micro/Nano Structure Surface Fabricated by Femtosecond Laser and Its Applications

边玉成 ^1,2,**王宇龙 ³肖轶 ^4,***张迎辉 ³焦云龙 ^3,*吴东 ³周成刚 ^1,2姚成立 ⁵

作者单位

¹ 中国科学技术大学微电子学院, 安徽合肥 230026

² 中国科学技术大学微纳研究与制造中心, 安徽合肥 230026

³ 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系, 安徽合肥 230026

⁴ 南通职业大学机械工程学院, 江苏南通 226007

⁵ 合肥师范学院化学与化学工程学院, 安徽合肥 230601

补充材料

边玉成, 王宇龙, 肖轶, 张迎辉, 焦云龙, 吴东, 周成刚, 姚成立. 飞秒激光制备可控微纳米结构表面及应用研究[J]. 激光与光电子学进展, 2020, 57(11): 111406. Yucheng Bian, Yulong Wang, Yi Xiao, Yinghui Zhang, Yunlong Jiao, Dong Wu, Chenggang Zhou, Chengli Yao. Controllable Micro/Nano Structure Surface Fabricated by Femtosecond Laser and Its Applications[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2020, 57(11): 111406.

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