光学学报, 2020, 40 (21): 2131001, 网络出版: 2020-10-25
双离子束溅射制备近红外窄带通滤光片的光谱和表面形貌 下载: 1432次
Optical Spectra and Surface Morphologies of Near-Infrared Narrow Band-Pass Filters Using Dual Ion Beam Sputtering
基本信息
DOI: | 10.3788/AOS202040.2131001 |
中图分类号: | O439; O484.1 |
栏目: | 薄膜 |
项目基金: | 上海技术物理研究所创新基金(2019cx-272) |
收稿日期: | 2020-06-05 |
修改稿日期: | 2020-07-02 |
网络出版日期: | 2020-10-25 |
通讯作者: | 刘定权 (dqliu@mail.sitp.ac.cn) |
备注: | -- |
陈刚, 刘定权, 马冲, 王凯旋, 张莉, 高凌山. 双离子束溅射制备近红外窄带通滤光片的光谱和表面形貌[J]. 光学学报, 2020, 40(21): 2131001. Gang Chen, Dingquan Liu, Chong Ma, Kaixuan Wang, Li Zhang, Lingshan Gao. Optical Spectra and Surface Morphologies of Near-Infrared Narrow Band-Pass Filters Using Dual Ion Beam Sputtering[J]. Acta Optica Sinica, 2020, 40(21): 2131001.