双离子束溅射制备近红外窄带通滤光片的光谱和表面形貌下载： 1430次 | 光学学报 -- 中国光学期刊网

光学学报, 2020, 40 (21): 2131001, 网络出版: 2020-10-25

双离子束溅射制备近红外窄带通滤光片的光谱和表面形貌下载： 1430次

Optical Spectra and Surface Morphologies of Near-Infrared Narrow Band-Pass Filters Using Dual Ion Beam Sputtering

陈刚 ^1,3刘定权 ^1,2,3,*马冲 ¹王凯旋 ^1,2张莉 ¹高凌山 ^1,3

作者单位

¹ 中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083

² 上海科技大学物质学院, 上海 200031

³ 中国科学院大学, 北京 100049

薄膜离子束溅射沉积窄带通滤光片表面形貌 thin films dual ion beam sputtering narrow band-pass filters surface morphologies

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