光学学报, 2020, 40 (21): 2131001, 网络出版: 2020-10-25 复制并引用该论文  本文已被引 3 次  被引通知

图 & 表

图 1. Nb₂O₅和SiO₂膜层的光谱常数曲线。(a)折射率n;(b)消光系数k

Fig. 1. Spectral constant curves of Nb₂O₅ and SiO₂ thin films. (a) Refractive index n; (b) extinction coefficients k

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图 2. 滤光片的透过率设计曲线。(a) 1375 nm通道;(b) 1610 nm通道

Fig. 2. Designed transmittance curves of two filters. (a) 1375 nm channel; (b) 1610 nm channel

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图 3. DIBS实验装置示意图

Fig. 3. Schematic DIBS experimental setup

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图 4. 1375 nm滤光片实测与设计的透射率光谱曲线。(a)测试范围900~1800 nm;(b)测试范围1350~1400 nm

Fig. 4. Designed and tested optical transmittance curves of 1375 nm filter. (a) Test range of 900-1800 nm;(b) test range of 1350-1400 nm

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图 5. 1610 nm滤光片实测与设计的透射率光谱曲线。(a)测试范围900~1800 nm;(b)测试范围1520~1700 nm

Fig. 5. Designed and tested transmittance curves of 1610 nm filter. (a) Test range of 900-1800 nm; (b) test range of 1520-1700 nm

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图 6. IBAD镀制滤光片表面的光学显微镜照片。(a) 1610 nm通道;(b) 1375 nm通道

Fig. 6. Optical microscope images of the surface of filter prepared by IBAD. (a) 1610 nm channel; (b) 1375 nm channel

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图 7. IBAD技术镀制滤光片表面的原子力显微镜照片。(a) 1610 nm通道;(b) 1375 nm通道

Fig. 7. AFM images of the surface of filter prepared by IBAD. (a) 1610 nm channel; (b) 1375 nm channel

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图 8. DIBS镀制滤光片表面的光学显微镜照片。(a) 1610 nm通道;(b) 1375 nm通道

Fig. 8. Optical images of the surface of filter prepared by DIBS. (a) 1610 nm channel; (b) 1375 nm channel

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图 9. DIBS镀制滤光片表面的原子力显微镜(AFM)照片。(a) 1610 nm通道;(b) 1375 nm通道

Fig. 9. AFM images of the surface of filter prepared by DIBS. (a) 1610 nm channel; (b) 1375 nm channel

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图 10. 滤光片与探测器耦合后输出的电信号。(a) 1375 nm通道;(b) 1610 nm通道

Fig. 10. Output electric signals of detector after coupling with filters. (a) 1375 nm channel; (b) 1610 nm channel

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表 1采用DIBS技术制备滤光片的相关工艺参数

Table1. Relevant parameters for preparing filters using DIBS technology

Target RF16 RF12 Deposition rate /(nm·s-1 ) Voltage /V Current /mA Flow /(mL·min-1) Voltage /V Current /mA Flow /(mL·min-1) Nb 1250 600 18(Ar) 400 150 3(Ar),12(O2) 0.27 SiO2 1250 600 18(Ar) 400 75 3(Ar),12(O2) 0.21

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表 2IBAD和DIBS镀制滤光片的表面粗糙度

Table2. Surface roughness of filters prepared by IBAD and DIBS

Surface roughness IBAD DIBS 1375 nm 1610 nm 1375 nm 1610 nm Max /nm 449.28 868.40 4.85 3.90 Min /nm -315.38 -96.80 -5.06 -3.19 Peak-to-peak /nm 764.66 965.21 9.91 7.09 Root-mean-square /nm 78.25 38.34 0.81 0.57

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陈刚, 刘定权, 马冲, 王凯旋, 张莉, 高凌山. 双离子束溅射制备近红外窄带通滤光片的光谱和表面形貌[J]. 光学学报, 2020, 40(21): 2131001. Gang Chen, Dingquan Liu, Chong Ma, Kaixuan Wang, Li Zhang, Lingshan Gao. Optical Spectra and Surface Morphologies of Near-Infrared Narrow Band-Pass Filters Using Dual Ion Beam Sputtering[J]. Acta Optica Sinica, 2020, 40(21): 2131001.