强激光与粒子束, 2011, 23 (9): 2386, 网络出版: 2011-10-27
溅射功率对Mo薄膜微结构和性能的影响
Effects of sputtering power on structure and property of Mo films deposited by DC magnetron sputtering
直流磁控溅射 Mo薄膜 溅射功率 表面形貌 X射线衍射 DC magnetron sputtering Mo film sputtering power surface topography Xray diffraction
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