A new method to characterize the metallic-oxide films for grayscale lithography

SUN Li-ping; ZHANG Shuang-gen; WANG Zhe; DENG Jia-chun; Lü Jiang

doi:doi:10.1007/s11801-013-2351-9

光电子快报（英文版）, 2013, 9 (1): 34, Published Online: Oct. 12, 2017

A new method to characterize the metallic-oxide films for grayscale lithography

SUN Li-ping ^1,*ZHANG Shuang-gen ²WANG Zhe ¹DENG Jia-chun ¹Lü Jiang ¹

Author Affiliations

¹ School of Science, Tianjin University of Technology, Tianjin 300384, China

² Tianjin Key Laboratory of Film Electronic and Communication Device, Engineering Research Center of Communication

知识挖掘

SUN Li-ping, ZHANG Shuang-gen, WANG Zhe, DENG Jia-chun, Lü Jiang. A new method to characterize the metallic-oxide films for grayscale lithography[J]. 光电子快报（英文版）, 2013, 9(1): 34.

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