光子学报, 2019, 48 (1): 0131002, 网络出版: 2019-01-27
基于离子束溅射大口径光学元件平坦化层均匀性研究
Study on Planarization Layer Uniformity of Large-aperture Optical Elements Based on Ion Beam Sputtering
基本信息
DOI: | 10.3788/gzxb20194801.0131002 |
中图分类号: | O484 |
栏目: | |
项目基金: | 内蒙古自然科学基金(No. 2017MS0539), 宁波市自然科学基金(No. 201601HJ-B01286) |
收稿日期: | 2018-07-05 |
修改稿日期: | 2018-09-21 |
网络出版日期: | 2019-01-27 |
通讯作者: | 冯时 (fengshi_optics@126.com) |
备注: | -- |
冯时, 付秀华, 王大森, 李晓静, 聂凤明, 张旭. 基于离子束溅射大口径光学元件平坦化层均匀性研究[J]. 光子学报, 2019, 48(1): 0131002. FENG Shi, FU Xiu-hua, WANG Da-sen, LI Xiao-jing, NIE Feng-ming, ZHANG Xu. Study on Planarization Layer Uniformity of Large-aperture Optical Elements Based on Ion Beam Sputtering[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2019, 48(1): 0131002.