1 长春理工大学 光电工程学院, 长春 130022
2 中国兵器科学研究院宁波分院, 浙江 宁波 315103
3 长春理工大学 电子信息工程学院, 长春 130022
针对大口径光学元件溅射沉积膜厚不均匀的问题, 采用离子束溅射平坦化层来改善光学元件表面粗糙度.利用膜厚检测仪测出光学元件沉积面上的中心区域以及各边缘区域的膜厚值, 计算离子束在光学元件中心与边缘驻留时间比, 并通过MATLAB拟合驻留时间分布规律, 根据所得的数据进行逐级修正.实验结果表明, 当驻留时间比优化为-26.6%时, 可以实现在直径300~600 mm大口径的光学元件上均匀镀膜, 以熔石英表面上镀硅膜为例, 溅射沉积6 h, 表面膜厚为212.4±0.3 nm, 薄膜均匀性达到0.4%.
薄膜 离子束溅射沉积 膜厚均匀性 大口径光学元件 驻留时间 Thin films Ion beam sputtering deposition Thickness uniformity Large-aperture optical elements Dwell time
1 长春理工大学机电工程学院， 吉林 长春 130021
2 长春设备工艺研究所超精密加工技术研究室， 吉林 长春 130012
分析了方形非球面光学元件磨削加工中产生四角塌边误差的原因，计算了方形非球面光学元件磨削加工时砂轮轴系两种安装方式的磨削系统刚度，讨论了砂轮轴系安装的位置对加工精度的影响，进行了砂轮轴系两种安装方式的方形光学元件磨削试验，以及不同砂轮型号、工艺参数的磨削试验，确定了能够满足方形非球面光学元件加工精度的砂轮轴系安装位置结构及磨削工艺参数。
光学制造 方形非球面 精密磨削 四角塌边误差
中国兵器工业集团第五五研究所 超精密加工技术研究室, 吉林 长春 130012
针对我国红外热像仪、探测仪及惯性约束核聚变工程对红外晶体类光学元件的需求, 开展了单点金刚石精密数控车削加工技术的研究, 分析了单点金刚石精密数控车削加工技术的特点及应用范围、机床整体布局及主体结构型式。介绍了该项技术在国内外的发展现状和趋势, 对该项技术的应用发展前景进行了分析和预测。在消化和引进国外先进制造技术和最新研究成果的基础上, 突破单点金刚石精密数控车削加工的关键制造技术, 解决了我国光学非球面精密数控车削加工技术和设备依赖引进的问题, 实现了单点金刚石精密数控车削加工技术及设备的国产化, 提高了我国红外光学元件的精密加工技术水平和设备制造能力。
光学材料 单点金刚石 精密加工技术 红外晶体类光学元件 非球面 optical materials single point diamond precision turning technique infrared crystal optical parts aspherical
