UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构

杜立群; 莫顺培; 张余升; 刘冲

光学精密工程, 2010, 18 (2): 363, 网络出版: 2010-08-31

UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构

Fabrication of 3D metal microstructure based on UV-LIGA and micro-EDM technology

杜立群 ^1,2,*莫顺培 ¹张余升 ²刘冲 ^1,2

作者单位

¹ 大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室，辽宁大连 116024

² 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁大连 116024

引用该论文

杜立群, 莫顺培, 张余升, 刘冲. UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构[J]. 光学精密工程, 2010, 18(2): 363.

DU Li-qun, MO Shun-pei, ZHANG Yu-sheng, LIU Chong. Fabrication of 3D metal microstructure based on UV-LIGA and micro-EDM technology[J]. Optics and Precision Engineering, 2010, 18(2): 363.

引用列表

1、多工位组合电极电火花成形微凹槽结构光学精密工程, 2015, 23 (12): 3371

2、线切割与真空热扩散焊组合工艺制备微模具光学精密工程, 2015, 23 (4): 988

3、逐层微细电阻滑焊工艺制备三维微结构光学精密工程, 2014, 22 (5): 1251

4、激光驱动飞片复杂轮廓多孔微冲裁实验及模拟中国激光, 2014, 41 (4): 403004

5、薄镍板上Meso尺度结构的电火花线切割光学精密工程, 2013, 21 (7): 1748

6、 UV-LIGA技术在制作细胞培养器微注塑模具型腔中的应用光学精密工程, 2013, 21 (5): 1228

7、飞秒激光切割与微细电阻滑焊组合制备三维金属微结构光学精密工程, 2012, 20 (8): 1811

杜立群, 莫顺培, 张余升, 刘冲. UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构[J]. 光学精密工程, 2010, 18(2): 363. DU Li-qun, MO Shun-pei, ZHANG Yu-sheng, LIU Chong. Fabrication of 3D metal microstructure based on UV-LIGA and micro-EDM technology[J]. Optics and Precision Engineering, 2010, 18(2): 363.

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