光学 精密工程, 2010, 18 (2): 363, 网络出版: 2010-08-31
UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构
Fabrication of 3D metal microstructure based on UV-LIGA and micro-EDM technology
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | TG661 |
| 栏目: | 微纳技术与精密机械 |
| 项目基金: | 国家科技支撑计划资助项目(No.2006BAF04B13)；国家自然科学基金资助项目(No.50675025, No.50775020) |
| 收稿日期: | 2009-07-16 |
| 修改稿日期: | 2009-10-23 |
| 网络出版日期: | 2010-08-31 |
| 通讯作者: | 杜立群 (duliqun@dlut.edu.cn) |
| 备注: | -- |
杜立群, 莫顺培, 张余升, 刘冲. UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构[J]. 光学 精密工程, 2010, 18(2): 363. DU Li-qun, MO Shun-pei, ZHANG Yu-sheng, LIU Chong. Fabrication of 3D metal microstructure based on UV-LIGA and micro-EDM technology[J]. Optics and Precision Engineering, 2010, 18(2): 363.
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