光学 精密工程, 2010, 18 (2): 363, 网络出版: 2010-08-31
UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构
Fabrication of 3D metal microstructure based on UV-LIGA and micro-EDM technology
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杜立群, 莫顺培, 张余升, 刘冲. UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构[J]. 光学 精密工程, 2010, 18(2): 363. DU Li-qun, MO Shun-pei, ZHANG Yu-sheng, LIU Chong. Fabrication of 3D metal microstructure based on UV-LIGA and micro-EDM technology[J]. Optics and Precision Engineering, 2010, 18(2): 363.