UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构 | 光学精密工程 -- 中国光学期刊网

光学精密工程, 2010, 18 (2): 363, 网络出版: 2010-08-31

UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构

Fabrication of 3D metal microstructure based on UV-LIGA and micro-EDM technology

杜立群 ^1,2,*莫顺培 ¹张余升 ²刘冲 ^1,2

作者单位

¹ 大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室，辽宁大连 116024

² 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁大连 116024

三维金属微结构微细电火花加工组合制作表面粗糙度 3D metal microstructure UV-LIGA UV-LIGA micro Electrical Discharge Mechining(EDM) surface roughness

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杜立群, 莫顺培, 张余升, 刘冲. UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制作三维金属微结构[J]. 光学精密工程, 2010, 18(2): 363. DU Li-qun, MO Shun-pei, ZHANG Yu-sheng, LIU Chong. Fabrication of 3D metal microstructure based on UV-LIGA and micro-EDM technology[J]. Optics and Precision Engineering, 2010, 18(2): 363.

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