光学学报, 2015, 35 (1): 0122005, 网络出版: 2014-12-15
基于混合梯度下降的高性能光刻机离轴照明衍射光学元件设计 下载: 611次
A Mixed Gradient Algorithm for High Performance DOE Design in Off-Axis Lithography Illumination System
基本信息
DOI: | 10.3788/aos201535.0122005 |
中图分类号: | O438 |
栏目: | 光学设计与制造 |
项目基金: | 国家科技重大专项(2011ZX020402)、国家国际科技合作专项(2011DFR10010)、上海市青年科技英才扬帆计划(14YF1406300) |
收稿日期: | 2014-07-01 |
修改稿日期: | 2014-08-30 |
网络出版日期: | 2014-12-15 |
通讯作者: | 宋强 (songqiang@siom.ac.cn) |
备注: | -- |
宋强, 朱菁, 王健, 张方, 吕向博, 杨宝喜, 黄惠杰. 基于混合梯度下降的高性能光刻机离轴照明衍射光学元件设计[J]. 光学学报, 2015, 35(1): 0122005. Song Qiang, Zhu Jing, Wang Jian, Zhang Fang, Lü Xiangbo, Yang Baoxi, Huang Huijie. A Mixed Gradient Algorithm for High Performance DOE Design in Off-Axis Lithography Illumination System[J]. Acta Optica Sinica, 2015, 35(1): 0122005.