光学学报, 2015, 35 (1): 0122005, 网络出版: 2014-12-15
基于混合梯度下降的高性能光刻机离轴照明衍射光学元件设计 下载: 611次
A Mixed Gradient Algorithm for High Performance DOE Design in Off-Axis Lithography Illumination System
光学设计 光学光刻 光瞳整形 衍射光学元件设计 部分相干光 optical design optical lithography pupil shaping diffractive optical element design partial coherence
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