光学 精密工程, 2010, 18 (11): 2454, 网络出版: 2010-12-13
单晶硅振动环陀螺仪的制作
Fabrication of single-crystal silicon vibrating ring gyroscope
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | U666.123 |
栏目: | 微纳技术与精密机械 |
项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(No.60772018) |
收稿日期: | 2010-03-10 |
修改稿日期: | 2010-04-20 |
网络出版日期: | 2010-12-13 |
通讯作者: | 张明 (zhangming05@mails.gucas.ac.cn) |
备注: | -- |
张明, 陈德勇, 王军波. 单晶硅振动环陀螺仪的制作[J]. 光学 精密工程, 2010, 18(11): 2454. ZHANG Ming, CHEN De-yong, WANG Jun-bo. Fabrication of single-crystal silicon vibrating ring gyroscope[J]. Optics and Precision Engineering, 2010, 18(11): 2454.