光学 精密工程, 2010, 18 (11): 2454, 网络出版: 2010-12-13
单晶硅振动环陀螺仪的制作
Fabrication of single-crystal silicon vibrating ring gyroscope
微机械加工工艺 深刻蚀 阳极键合 振动环陀螺 MEMS technology Deep Reactive Ion Etching(DRIE) anodic bonding vibrating ring gyroscope
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