光学 精密工程, 2010, 18 (11): 2454, 网络出版: 2010-12-13  

单晶硅振动环陀螺仪的制作

Fabrication of single-crystal silicon vibrating ring gyroscope
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中国科学院 电子学研究所 传感技术国家重点实验室北方基地,北京 100190
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张明, 陈德勇, 王军波. 单晶硅振动环陀螺仪的制作[J]. 光学 精密工程, 2010, 18(11): 2454. ZHANG Ming, CHEN De-yong, WANG Jun-bo. Fabrication of single-crystal silicon vibrating ring gyroscope[J]. Optics and Precision Engineering, 2010, 18(11): 2454.

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