基于振镜扫描方式的光学元件表面损伤检测

郭亚晶; 唐顺兴; 姜秀青; 朱宝强; 林尊琪

doi:doi:10.3788/aos201737.0612003

光学学报, 2017, 37 (6): 0612003, 网络出版: 2017-06-08

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Damage Inspection of Optical Surface Based on Galvanometer Scanning

郭亚晶 ^*唐顺兴姜秀青朱宝强林尊琪

作者单位

中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室, 上海 201800

引用该论文

郭亚晶, 唐顺兴, 姜秀青, 朱宝强, 林尊琪. 基于振镜扫描方式的光学元件表面损伤检测[J]. 光学学报, 2017, 37(6): 0612003.

Guo Yajing, Tang Shunxing, Jiang Xiuqing, Zhu Baoqiang, Lin Zunqi. Damage Inspection of Optical Surface Based on Galvanometer Scanning[J]. Acta Optica Sinica, 2017, 37(6): 0612003.

引用列表

1、抛光过程中光学元件表面划痕的形成和控制中国激光, 2019, 46 (12): 1202009

2、自适应激光共焦高速扫描显微成像错位校正算法光学学报, 2019, 39 (1): 0118001

3、基于局域信号增强的光学元件损伤检测中国激光, 2018, 45 (11): 1104001

郭亚晶, 唐顺兴, 姜秀青, 朱宝强, 林尊琪. 基于振镜扫描方式的光学元件表面损伤检测[J]. 光学学报, 2017, 37(6): 0612003. Guo Yajing, Tang Shunxing, Jiang Xiuqing, Zhu Baoqiang, Lin Zunqi. Damage Inspection of Optical Surface Based on Galvanometer Scanning[J]. Acta Optica Sinica, 2017, 37(6): 0612003.

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