光学学报, 2017, 37 (6): 0612003, 网络出版: 2017-06-08
基于振镜扫描方式的光学元件表面损伤检测 下载: 552次
Damage Inspection of Optical Surface Based on Galvanometer Scanning
基本信息
DOI: | 10.3788/aos201737.0612003 |
中图分类号: | TN204 |
栏目: | 仪器,测量与计量 |
项目基金: | -- |
收稿日期: | 2016-12-12 |
修改稿日期: | 2017-02-13 |
网络出版日期: | 2017-06-08 |
通讯作者: | 郭亚晶 (guoyajing860501@163.com) |
备注: | -- |
郭亚晶, 唐顺兴, 姜秀青, 朱宝强, 林尊琪. 基于振镜扫描方式的光学元件表面损伤检测[J]. 光学学报, 2017, 37(6): 0612003. Guo Yajing, Tang Shunxing, Jiang Xiuqing, Zhu Baoqiang, Lin Zunqi. Damage Inspection of Optical Surface Based on Galvanometer Scanning[J]. Acta Optica Sinica, 2017, 37(6): 0612003.